气流组织形式灵活，合理，可满足各种工作环境，不同洁净等级的需要,无尘室建筑方式可分为土建结构和装配式两种，其中普遍采用装配式。 洁净室分类你需了解,装配式洁净厂房系统主要由初，中，高三级空气过滤的空调送风回风和排风系统；动力及照明系统；工作环境参数的监测报警消防和通讯系统；人流和物流系统；工艺管路系统；维护结构及静电地面处理等各方面所要求的实施内容组成，形成空调净化系统工程所包含的整个设备和器材的配套和建筑安装内容。

无尘室的安装与使用方面有以下特点:

   装配式洁净厂房的全部维修构件在工厂内按统一模数及系列加工完成，适于批量生产，质量稳定，供货迅速。

  机动灵活，即适合在新建厂房配套安装，也适宜老厂房的净化技术改造。维修结构也可随工艺要求任意组合，拆卸方便。

1. 乱流式(Turbulent Flow)：空气由空调机箱经风管和洁净室内的空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室内的回风柱或高架地板回风。气流是呈不规则的乱流或涡流状态。此型式适合于洁净室等级为：1,000-100,000级。

优点：构造简单、系统建造成本比较低，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所需提高洁净等级，可结合洁净工作台来提高洁净室等级。

缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求的洁净度，往往须相当长一段时间。

2.层流式(Laminar)：　空气气流运动成一均匀的直线形，空气由覆盖率100%的高效过滤器进入室内，并由高架地板或两侧回风柱回风，此型式适合于级别比较高的洁净室，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：

(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。

（2）垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

3.复合式(Mixed Type)：　复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式

　　下限风速建议值

洁净室 下限风速(m/s) 条 件

垂直单向流 0.12

0.3

≯0.5 

平时无人或很少有人进出，无明显热源（只有一般仪器）

无明显热源的一般情况

有人，有明显热源，如0.5仍不够，则有宜控制热源尺寸和加以隔热。

水平单向流 0.3

0.35

≯0.5 

平时无人或很少有人进出

一般情况

要求更高或人员进出频繁